放電プラズマを利用した光触媒の作製と室内空気汚染対策への応用

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本研究では光触媒作用のあるTiO_2に着目して,TiO_2薄膜のプラズマプロセスによる作製およびTiO_2と放電プラズマの併用による有害物質の除去を行った。今回行った研究及びその成果を以下にまとめる。1.プラズマプロセスによる光触媒の作製触媒の作製からガス処理への応用までを行えるシステムを試作した。放電プラズマを利用して光触媒を作成し,成膜後にそのままの状態から大気圧で放電による光・ラジカルを利用したガス処理を検討した。作製条件について検討し、良質な光触媒を作製するための指針を得た。2.TiO2膜作製放電プラズマの計測揮発性有機金属材料であるTiO(dpm)_2の放電プラズマによる分解過程の計測を分光器を用いて発光スペクトルを計測し,プラズマの状態の定量化や発生ラジカルの同定から内部でのプラスマ化学反応について検討した。3.室内空気汚染に影響する有害ガスの処理TiO_2を用いたガス処理装置として,成膜後にそのままの状態で大気圧で放電が行える無電極方式による大気圧マイクロ波放電の発生方法を調べた。針対メッシュ板によるコロナ放電やTiO_2上に電極を配置する沿面放電による有電極方式の装置作製も行った。これらの装置を用いて室内空気汚染対策への応用として,NOxの分解実験を行い、プラズマと触媒の併用による効果を確認した。