GHz帯膜厚差型一方向性すだれ状電極を用いた広帯域低損失弾性表面波フィルタ

使用GHz频带单向叉指电极的宽带低损耗声表面波滤波器

• 批准号: 08750388
• 负责人: 小田川 裕之
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08750388/
• 关键词: 膜厚差型一方向性変換器; 弾性表面波フィルタ; 低損失フィルタ; 広帯域フィルタ; GHz帯フィルタ; 微細加工

次世代移動体通信に必要となる、GHz帯低損失弾性表面波フィルタについて研究を行った。膜厚差型一方向性すだれ状電極は、電極に同種或いは異種金属の異なる膜厚を用いることによる反射係数の違いを利用して一方向性を得るものであり、高効率な励振特性を有し、低損失、広帯域特性を得ることが可能である。これについて、以下の研究成果を得た。1.等価回路によるシミュレーション及び実験を行い、低損失特性を得るために重要となる「すだれ状変換器の一方向性化」に必要な、電極材料と膜厚の関係を明らかにし、実用的な膜厚の範囲内で、良好な特性を得ることが可能であることが確認された。2.この電極を用いたGHz帯フィルタの作製プロセスの研究を行った。これには、5GHz帯(波長0.72μm)の場合は0.18μm、10GHz帯(波長0.36μm)の場合は0.09μm、15GHz帯(波長0.24μm)の場合は、0.08μmといった非常に微細で、かつ膜厚差を有する周期電極を電子ビーム露光装置を用いたリソグラフィ技術を用いて作製する必要がある。この構造を、重ねあわせ露光を用いずに作製する方法について研究を行い、斜め蒸着を用いることにより、作製可能であることを示した。3.実際に、5GHz帯、10GHz帯、15GHz帯のフィルタの試作を行った。これにより、5GHz帯で、挿入損失4.1dB、10GHz帯で9.4dBの今までにない低損失特性を得た。また15GHz帯では、未だ完全な電極が得られておらず、挿入損失は約40dBであったが、今までにこの周波数帯で報告されている弾性表面波フィルタの中では、最良の特性を得た。今後、作製プロセスの最適化を行うことにより、20GHzを越える周波数帯の弾性表面波フィルタが実現可能である。

Research on Low-loss Surface Wave in Next Generation Mobile Communication Film thickness difference type A directivity of electrode is different from that of electrode of the same kind or different metal, and film thickness is different. The reflection coefficient is different from that of electrode. The directivity of electrode is different from that of electrode. The excitation characteristic of high efficiency is possible. The low loss and wide band characteristic are obtained. The following research results were obtained. 1. The relationship between electrode material and film thickness should be clarified, and the range of film thickness used should be confirmed. 2. The research of electrode application in GHz band For example, in the case of 5 GHz band (wavelength 0.72μm), in the case of 0.18μm, in the case of 10GHz band (wavelength 0.36μm), in the case of 0.09μm, in the case of 15GHz band (wavelength 0.24μm), in the case of 0.08μm, in the case of very fine film thickness difference, in the case of periodic electrode, in the case of electron exposure device, in the case of application of fine technology, in the case of electronic exposure device, in the case of electronic exposure device. The structure, the weight, the use, the method, the research, the use, the possible use, the possible use 3. Real-time, 5GHz band, 10GHz band, 15GHz band and other test operations In this case, the 5GHz band has an input loss of 4.1dB, and in the 10GHz band 9.4dB. 15GHz band, incomplete electrode, insertion loss, current frequency band, best characteristics In the future, the optimization of the system will be carried out at 20GHz and the frequency band of the surface wave will be realized.

项目成果

H. Odagawa,: "10GHz Range Low Loss Wide Band Unidirectional SAW Filters Using Sub-0.1-μm Width Narrow-Gap Electrodes." 1996 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings. (to be published). (1997)

H. Odakawa，：“使用亚 0.1 μm 宽度窄间隙电极的 10GHz 范围低损耗宽带单向 SAW 滤波器。”1996 年 IEEE 超声波研讨会论文集（即将出版）。