イオンおよび電子ビームによる極微構造デバイス用電極形成技術の開発
イオンおよび電子ビームによる極微構造デバイス用電極形成技術の開発
使用离子束和电子束开发微结构器件的电极形成技术
批准号：
58209040
负责人：
稲田 太郎
金额：
$1.34万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1983
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1983 至 --
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会议论文
イオンおよび電子ビームによる極微構造デバイス用電極形成技術の開発
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批准号：57217036
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$1.22万
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财政年份：1982
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负责人：稲田 太郎
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依托单位：