超高感度アンモニアセンサおよびこれを実現する水分制御基盤技術の開発

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今年度改めてアンモニアガスを吸着する吸着材の文献データベース調査およびセンサー応用に関する既往研究の文献データベース検索を行ない、吸着材の種類、アンモニアガスセンシング形態、アンモニアガス吸着性能、センシング条件とセンサ応答挙動の観点で文献整理した。この中で、高感度センシングに適用する吸着材候補を選定した。文献調査で不足の点は吸着材の化学的安定性や長期的な安定性に関する情報であり、この点については選定した材料について実験的に検討することにした。ついで、水晶振動子マイクロバランスを適用し、これに吸着材を複合するデバイスを検討することとした。高感度測定において、汎用型のフローセルが必要であることから、３Dプリンタを活用した試行錯誤を繰り返し、QCMを容易に繰り返し設置可能なフローセルを独自に開発した。同時に、混合ガス組成を調整可能な精密ガス流通系の測定装置を構築した。質量センサを用いる高感度測定においては、ガス流の脈動がセンサ応答に影響するため、マスフローコントローラーを用いた流量制御系を適用した。高感度ガスセンシングにおいては気相中の水分影響が無視できないケースが多いことから、高感度に水分をモニタリングする目的で測定系のラインに半導体RHセンサ、市販のガスセンサ、RH制御系を導入した。選定した吸着材についてQCMとの複合化を検討し、線状高分子ではアンモニアに応答するものの同伴する水分影響が非常に大きく何らかの工夫が必要と判断した。Cuを蒸着もしくはメッキしたQCMを用いてCuBrとナノコロイド粒子との複合系を選定し、CuBr複合QCMを試作して、吸着材のアンモニア応答、センサの応答速度と耐久性を簡易に調べた。その結果、QCMとの複合化によりアンモニア応答を示すこと、このセンサは経時的に劣化し、センシング性能がデイオーダーで低下することを把握した。