High efficient super-planarization of hard materials for a wafer by the advanced superfinishing with the mechanochemical super abrasive stones

采用机械化学超级磨石进行先进的超精加工，对晶片硬质材料进行高效超平坦化

基本信息

  • 批准号：
    26420065
  • 负责人：
    Yamaguchi Tomomi
  • 金额：
    $ 3.16万
  • 依托单位：
    Kansai University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份：
    2014
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2014-04-01 至 2017-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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Multistage Superfinishing of Sapphire with Vitrified-bonded Diamond Superabrasive Stones
用陶瓷结合剂金刚石超硬磨料石对蓝宝石进行多级超精加工
  • DOI：
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Naomichi Furushiro;Tomomi Yamaguchi;Daisuke Hirooka;Noboru Matsumori;Kenichi Tanada
  • 通讯作者：
    Kenichi Tanada
Development of Removal Amount Estimation Method based on Calculation of Elastic Deformation of Superabrasive Stones during Multistage Superfinishing of Sapphire
蓝宝石多级超精加工过程中基于超硬磨料石弹性变形计算的去除量估算方法的发展
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

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  • 发表时间：
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  • 期刊：
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  • 影响因子：
    2.1
  • 作者：
    Nakazawa Hideyuki;Yamaguchi Tomomi;Sakai Hitoshi;Maruyama Masae;Kawakami Toru;Kawakami Fumihiro;Nishina Sayaka;Ishikawa Masumi;Kosho Tomoki;Ishida Fumihiro
  • 通讯作者：
    Ishida Fumihiro

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
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    {{ item.publish_year }}
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    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
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    {{ item.authors }}
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    {{ item.author }}

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{{ showInfoDetail.title }}

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