High efficient super-planarization of hard materials for a wafer by the advanced superfinishing with the mechanochemical super abrasive stones
High efficient super-planarization of hard materials for a wafer by the advanced superfinishing with the mechanochemical super abrasive stones
采用机械化学超级磨石进行先进的超精加工，对晶片硬质材料进行高效超平坦化
批准号：
26420065
负责人：
Yamaguchi Tomomi
金额：
$3.16万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Multistage Superfinishing of Sapphire with Vitrified-bonded Diamond Superabrasive Stones
用陶瓷结合剂金刚石超硬磨料石对蓝宝石进行多级超精加工
用陶瓷结合剂金刚石超硬磨料石对蓝宝石进行多级超精加工
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Naomichi Furushiro, Tomomi Yamaguchi, Daisuke Hirooka, Noboru Matsumori, Kenichi Tanada]
通讯作者：
Kenichi Tanada
Development of Removal Amount Estimation Method based on Calculation of Elastic Deformation of Superabrasive Stones during Multistage Superfinishing of Sapphire
蓝宝石多级超精加工过程中基于超硬磨料石弹性变形计算的去除量估算方法的发展
蓝宝石多级超精加工过程中基于超硬磨料石弹性变形计算的去除量估算方法的发展
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
International Journal of Automation Technology
影响因子：
1.1
作者：
[Naomichi Furushiro, Tomomi Yamaguchi, Daisuke Hirooka, Noboru Matsumori, Kenichi Tanada]
通讯作者：
Kenichi Tanada
construction of employment support care package for convalescent stroke patients
-
批准号：16K12320
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额：$2.58万
-
财政年份：2016
-
负责人：Yamaguchi Tomomi
-
依托单位：