权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

Ti-Niスパッタ薄膜の熱サイクルに伴う微細組織への影響

Ti-Ni溅射薄膜热循环对微观结构的影响

基本信息

批准号：
10136229
负责人：
中田芳幸
金额：
$ 1.02万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

スパッタ法により作製したTi-Ni合金薄膜を適当な温度で熱処理するとTi-Ni母相の{100}面に平行して、種々の厚さを持つG-Pゾーンが出現する。本研究では、このようなG-Pゾーンの生成しているTi-Ni合金に対して熱サイクルを行い、それに伴う電子顕微鏡の微細組織変化を詳細に調べた。その結果、100回程度の繰り返し変態では明瞭な変化が現れず、通常のバルク試料を熱サイクルしたときによく見られる、高密度の転位組織は観察されなかった。その原因として、G-Pゾーンの出現した試料では、マルテンサイト変態時に生成する結晶が微細になり、巨視的な変形歪みが小さくなり、そのためすべり変形が起こりにくくなったのではないかと思われる。ここで興味深い点はマルテンサイト変態時にG-Pゾーンが変形するかどうかである。もし変形しないとすれば個々のマルテンサイト晶はG-Pゾーンで囲まれた領域より成長できず、極めて微細になることが予想される。そこで、G-Pゾーンを含む試料の変態挙動に関する基礎データを得るため、本研究ではさらにG-Pゾーンの構造を高分解能観察を行い、その構造を詳細に調べた。また、詳細な構造情報を得るため、まず構造モデルを仮定し、そのモデルに対してマルチスライス法による高分解能像のシミュレーションを行い、実験で得られた観察結果と比較検討した。その結果、G-Pゾーンに相当する構造モデルとして、Ti原子で構成されたbcc相に30%の原子空孔を導入した場合に、計算によるシミュレーション像と実験により得られた高分解能像がよく一致することがわかった。特に、実験で得られた高分解能像の特徴であるG-Pゾーンに相当する部分の明るいコントラストが、計算でよく再現できた。

Ti-Ni alloy thin films are prepared by the method of heat treatment at appropriate temperature, so that the {100} planes of Ti-Ni parent phase are parallel to each other, and the thickness of Ti-Ni parent phase is maintained. In this study, the formation of Ti-Ni alloy was studied in detail, and the microstructure of Ti-Ni alloy was studied in detail. The results, 100 cycles of temperature and temperature change state, change in temperature and temperature, normal temperature and temperature of the sample, high density of the sample texture and temperature change. The reason for the appearance of G-P is that when the sample is in a state of transition, the crystal is formed, and the shape of the crystal is small. When the game is over, the game is over. The first step is to create a better environment for the future. In this study, the structure of the G-P alloy was investigated in detail. The detailed structure information is obtained, and the structure information is determined. The high resolution energy image is obtained, and the result comparison is obtained. As a result, the structure of the G-P phase is equivalent to that of the Ti phase. The characteristics of high resolution energy image are obtained by calculation.