Ti-Niスパッタ薄膜の熱サイクルに伴う微細組織への影響

Ti-Ni溅射薄膜热循环对微观结构的影响

• 批准号: 10136229
• 负责人: 中田 芳幸
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10136229/
• 关键词: Ti-Ni合金; 形状記憶効果; 熱サイクル; 電子顕微鏡観察; G-Pゾーン; 薄膜; スパッタ; 非平衡

スパッタ法により作製したTi-Ni合金薄膜を適当な温度で熱処理するとTi-Ni母相の{100}面に平行して、種々の厚さを持つG-Pゾーンが出現する。本研究では、このようなG-Pゾーンの生成しているTi-Ni合金に対して熱サイクルを行い、それに伴う電子顕微鏡の微細組織変化を詳細に調べた。その結果、100回程度の繰り返し変態では明瞭な変化が現れず、通常のバルク試料を熱サイクルしたときによく見られる、高密度の転位組織は観察されなかった。その原因として、G-Pゾーンの出現した試料では、マルテンサイト変態時に生成する結晶が微細になり、巨視的な変形歪みが小さくなり、そのためすべり変形が起こりにくくなったのではないかと思われる。ここで興味深い点はマルテンサイト変態時にG-Pゾーンが変形するかどうかである。もし変形しないとすれば個々のマルテンサイト晶はG-Pゾーンで囲まれた領域より成長できず、極めて微細になることが予想される。そこで、G-Pゾーンを含む試料の変態挙動に関する基礎データを得るため、本研究ではさらにG-Pゾーンの構造を高分解能観察を行い、その構造を詳細に調べた。また、詳細な構造情報を得るため、まず構造モデルを仮定し、そのモデルに対してマルチスライス法による高分解能像のシミュレーションを行い、実験で得られた観察結果と比較検討した。その結果、G-Pゾーンに相当する構造モデルとして、Ti原子で構成されたbcc相に30%の原子空孔を導入した場合に、計算によるシミュレーション像と実験により得られた高分解能像がよく一致することがわかった。特に、実験で得られた高分解能像の特徴であるG-Pゾーンに相当する部分の明るいコントラストが、計算でよく再現できた。

The temperature dependence of the Ti-Ni alloy film on the parallelism of the Ti-Ni parent phase {100} plane and the temperature dependence of the thickness of the GMI alloy film on the surface of the thin film. In this study, in order to improve the performance of the Ti-Ni alloy, the microstructure of the alloy, the microstructure of the electron micrometer, the microstructure of the electron micrometer, and the microstructure of the electron micrometer were studied. The results of the test, the 100-cycle response status test, and the results show that the performance of the system is very clear, and that the high-density organization is responsible for monitoring the performance. The cause is different, and the Gripp computer shows that the data is bad, the computer is in a state of error, and the display of the giant TV is crooked in the shape of the microphone. There is a deep smell in the air, and there is a lot of trouble in the state of affairs. In recent years, the growth and growth of the two-year-old government has grown up in the field of education. In this study, the results show that the performance of high decomposition can be detected and analyzed in this study. in this study, the results show that the performance of high decomposition can be detected in this study. In order to improve the performance of the system, the method of high decomposition can be improved, and the results are better than those of the control group. The results show that the Ti atoms are equivalent to the bcc phase, and the atomic holes in the bcc phase are 30%. The results show that the high decomposition rate is similar to that of the whole system. In this paper, the results show that the high decomposition rate is similar to that of the corresponding part of the system, and the calculation results show that the high decomposition rate is very high.

项目成果

Y.Nakata et al.: "Formation of Guinier-preston Zonres in Suputter-deposited Ti-Ni Thin Films" 3rd Pacific Rim Int.Conf.on Adv.Mater. & Processing. 2739-2744 (1998)

Y.Nakata 等人：“Suputter-deposited Ti-Ni Thin Films 中 Guinier-preston Zonres 的形成”第 3 届环太平洋国际会议 Adv.Mater。