Cardiff University and Edwards Vacuum KTP 21_22 R5
Cardiff University and Edwards Vacuum KTP 21_22 R5
卡迪夫大学和爱德华兹真空 KTP 21_22 R5
批准号：
10028740
负责人：
金额：
$0.0万
依托单位：
依托单位国家：
英国
项目类别：
Knowledge Transfer Partnership
财政年份：
2023
资助国家：
英国
项目状态：
未结题
起止时间：
2023 至 --
中文摘要
翻译
_开发微波等离子体装置，用于消除半导体制造中使用的温室气体。这种方法减少了气体本身释放对环境的影响，并且比目前采用的燃烧技术具有更低的碳足迹。_
英文摘要
_Development of a microwave plasma device for the destruction of green-house gases used for semiconductor fabrication. This approach reduces the environmental impact that would arise from the release of the gases themselves and would have a lower carbon footprint than the combustion technology currently employed._
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