With NPL, validating 2D+ metrology tool at biotech and silicon fab resolutions (1-100nm) to extend markets served
With NPL, validating 2D+ metrology tool at biotech and silicon fab resolutions (1-100nm) to extend markets served
批准号:
106031
负责人:
金额:
$2.48万
依托单位国家:
英国
项目类别:
Collaborative R&D
财政年份:
2020
资助国家:
英国
项目状态:
已结题
起止时间:
2020 至 --
中文摘要
与NPL合作,验证生物技术和硅晶圆厂分辨率(1-100nm)的2D+计量工具,以扩大服务市场
英文摘要
With NPL, validating 2D+ metrology tool at biotech and silicon fab resolutions (1-100nm) to extend markets served
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