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Development of tooling factor and plume deposition models for a vapour deposition system
气相沉积系统的工具因子和羽流沉积模型的开发
基本信息
- 批准号：470687-2014
- 负责人：
- 金额：$ 1.82万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Engage Grants Program
- 财政年份：2014
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2014-01-01 至 2015-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Angstrom Engineering designs and manufactures standard and custom-designed high-quality thin film
Angstrom Engineering设计和制造标准和定制设计的高质量薄膜
项目成果
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
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