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Group 13 Oxides and Nitrides by Atomic Layer Deposition using Novel and Underutilized Precursors
使用新型和未充分利用的前体通过原子层沉积制备第 13 族氧化物和氮化物
基本信息
- 批准号：503927-2017
- 负责人：
- 金额：$ 2.55万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Alexander Graham Bell Canada Graduate Scholarships - Doctoral
- 财政年份：2018
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2018-01-01 至 2019-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Atomic layer deposition, Precursor design, Precursor synthesis, Group 13 nitrides, Group 13 oxides, Aluminum oxide, Aluminum nitride, Air-free chemistry
原子层沉积，前驱体设计，前驱体合成，13族氮化物，13族氧化物，氧化铝，氮化铝，无空气化学
项目成果
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科研奖励数量（0）
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Group 13 Oxides and Nitrides by Atomic Layer Deposition using Novel and Underutilized Precursors
使用新型和未充分利用的前体通过原子层沉积制备第 13 族氧化物和氮化物
- 批准号：
503927-2017 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 2.55万 - 项目类别：
Alexander Graham Bell Canada Graduate Scholarships - Doctoral
Group 13 Oxides and Nitrides by Atomic Layer Deposition using Novel and Underutilized Precursors
使用新型和未充分利用的前体通过原子层沉积制备第 13 族氧化物和氮化物
- 批准号：
503927-2017 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 2.55万 - 项目类别：
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