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Optical profiler with dynamic micro electro-mechanical systems capability
具有动态微机电系统功能的光学轮廓仪
基本信息
- 批准号：LE110100024
- 负责人：
- 金额：$ 16万
- 依托单位：
- 依托单位国家：澳大利亚
- 项目类别：Linkage Infrastructure, Equipment and Facilities
- 财政年份：2011
- 资助国家：澳大利亚
- 起止时间：2011-03-01 至 2012-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
This facility will allow Australian researchers to access the world's best capability in dynamic, time resolved, optical three-dimensional profiling of surfaces and devices. It will advance a raft of science research and industry applications characterising natural and artificial materials and underpinning next generation optical, photonic and microelectronic devices.
该设施将使澳大利亚的研究人员能够获得世界上最好的动态、时间分辨、表面和设备的光学三维轮廓分析能力。它将推动一系列以天然和人工材料为特征的科学研究和工业应用，并支撑下一代光学、光子和微电子设备。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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