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Microelectromechanical Inertial Measurement Unit Based on Thermal Principles
基于热原理的微机电惯性测量装置
基本信息
- 批准号：546263-2020
- 负责人：
- 金额：$ 3.28万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Postdoctoral Fellowships
- 财政年份：2022
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2022-01-01 至 2023-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Angular Velocity, Linear Acceleration, Surface Micromachining, Inertial Sensors, Thermal Gyroscope, Thermal Accelerometer, Coriolis Effect, Heat Transfer, Natural Convection, Micromachining
角速度、线加速度、表面微加工、惯性传感器、热陀螺仪、热加速度计、科里奥利效应、传热学、自然对流、微机械加工
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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