Microelectromechanical Inertial Measurement Unit Based on Thermal Principles
Microelectromechanical Inertial Measurement Unit Based on Thermal Principles
基于热原理的微机电惯性测量装置
批准号：
546263-2020
负责人：
Bahari, JamalJ
金额：
$3.28万
依托单位：
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Postdoctoral Fellowships
财政年份：
2022
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2022-01-01 至 2023-12-31
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英文摘要
Angular Velocity, Linear Acceleration, Surface Micromachining, Inertial Sensors, Thermal Gyroscope, Thermal Accelerometer, Coriolis Effect, Heat Transfer, Natural Convection, Micromachining
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