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InGaAsP量子阱电泵浦光子晶体WGM微腔激光器与输出光波导的集成

批准号：
60476029
项目类别：
面上项目
资助金额：
29.0 万元
负责人：
宁永强
依托单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
学科分类：
半导体光电子器件与集成
结题年份：
2007
批准年份：
2004
项目状态：
已结题
项目参与者：
初国强、李丽娜、赵路民、王青、王超、孙艳芳、金珍花
关键词：
耳语回廊模式光子晶体微腔激光器

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项目成果

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中文摘要
本项目研究InGaAsP量子阱电泵浦光子晶体WGM微腔激光器与输出光波导的集成技术。针对激射波长1.55微米的InGaAsP量子阱激光器，采用六角周期的二维光子晶体结构，通过电子束光刻和ICP干法刻蚀技术制作出空气孔列阵，形成包络1.55微米波段的光子禁带。根据圆形或环形耳语回廊模式全内反射微腔激光器的结构参数，如圆直径及环宽度等，在空气孔列阵的光子晶体结构中制备出圆形光子晶体结构线缺陷，使量子阱激光器产生的光子被限制在这个线缺陷内，形成高效耳语回廊模式反馈振荡，实现激射。在此基础上，研制出具有直线形线缺陷的光子晶体输出光波导，与光子晶体微腔激光器集成在一起，使微腔激光器产生的激光耦合到波导中，以获得高效率定向光输出。. 耳语回廊模式微腔激光器体积小、效率高。其激光传播是在器件平面内部进行的，与其它耳语回廊模式器件，如谐振器、光开关等集成在一起可以实现超大规模集成。
英文摘要
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共 14 条
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