高分辨率光扫描型二维PH图象传感器及其成像研究

批准号:
60176028
项目类别:
面上项目
资助金额:
23.0 万元
负责人:
牛文成
依托单位:
学科分类:
F0404.半导体电子器件与集成
结题年份:
2004
批准年份:
2001
项目状态:
已结题
项目参与者:
张福海、俞梅、孙学珠、陈兴梧、那兴波、罗伟栋、贾芸芳、李华伟、谢建湘
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中文摘要
以LAPS为基础,光扫描与硅膜超薄化技术相结合,研究具高分辨率,并能以可视化的化学图像硎救芤篜H分布的光扫描型二维PH图像传感器.结合成像实验,重点研究硅膜厚度,硅膜晶片结构,成膜均匀性及光点尺寸与扫描速度等对二维PH图像的影响;给出理论结果与理论模型,为允疽禾錚H 参数的二维图像提供新型的传感器件.国内外未见报道.
英文摘要
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DOI:--
发表时间:--
期刊:南开大学学报(自然科学版),
影响因子:--
作者:林立旻;牛文成;赵 煜;喻 骏;秦 艳
通讯作者:秦 艳
DOI:--
发表时间:--
期刊:南开大学学报(自然科学版
影响因子:--
作者:贾芸芳;牛文成
通讯作者:牛文成
DOI:--
发表时间:--
期刊:南开大学学报(自然科学版),
影响因子:--
作者:牛文成;刘国华;林立旻;喻 骏;周明勇;岳 钊;贾芸芳;张福海;俞 梅
通讯作者:俞 梅
DOI:--
发表时间:--
期刊:仪表技术与传感器
影响因子:--
作者:张志勇;陈兴梧;牛文成;陈 诚;孙兴文
通讯作者:孙兴文
DOI:--
发表时间:--
期刊:传感技术学报,
影响因子:--
作者:牛文成;喻 骏;林立旻;周明勇;贾芸芳;张福海;俞 梅;那兴波;刘国华
通讯作者:刘国华
室温工作HSGFET型高灵敏O3传感器的研究
- 批准号:69876023
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:13.0万元
- 批准年份:1998
- 负责人:牛文成
- 依托单位:
EIS并列型光寻址半导体体液分析传感器的研究
- 批准号:69476036
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:7.5万元
- 批准年份:1994
- 负责人:牛文成
- 依托单位:
高灵敏度半导体臭氧传感器的研究
- 批准号:69376029
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:6.5万元
- 批准年份:1993
- 负责人:牛文成
- 依托单位:
改善LaF3栅MIS型固态氧传感器特性的研究
- 批准号:69176032
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:4.0万元
- 批准年份:1991
- 负责人:牛文成
- 依托单位:
国内基金
海外基金
