在基金的资助下，本项目从束流设备和实验方法准备及发展、少原子层材料样品的制备、 团簇离子沉积实验及束流相互作用研究和材料性能测量及评价四个方面开展了系统的研究工作。建设了原子团簇束流在线质量选择装置，实现了质量分辨率为20的团簇质量选择；建设了原子团簇束流注入-输运测量联用装置，实现团簇束流注入和材料输运性能调控的同步进行，其中样品温度可达2.7K。发展了石墨烯、拓扑绝缘体、MoS2等少原子层的制备和表征方法，实现利用化学法大量制备少层石墨，样品平均为5个原子层厚。开展了电子束与少原子层石墨相互作用的实验，确定200keV电子与石墨相互作用的自由程为118nm。开展了团簇与石墨烯相互作用的实验研究，确定10eV/atom的团簇可以透入石墨层，在低能注入时石墨烯的量子相干效应会出现改善。测量多种石墨烯和少原子层材料的输运性质，观察到相干电子的普适电导涨落、AAS振荡和弱反局域化等行为。本项目总共发表SCI论文11篇，申请国家专利2项，从科学内容和发表论文等多方面完成了项目既定的目标。