课题基金 / 基金详情

基于柔性云母基底的AlN压电薄膜及高温声表面波传感器研究

批准号：
62361022
项目类别：
地区科学基金项目
资助金额：
32 万元
负责人：
刘兴鹏
依托单位：
桂林电子科技大学
学科分类：
新型信息器件
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘兴鹏
关键词：
柔性云母基底AlN压电薄膜

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