基于碳纳米管的复合真空传感器的片上集成技术及相关机理研究
批准号:
62471178
项目类别:
面上项目
资助金额:
49.00 万元
负责人:
王雨薇
依托单位:
学科分类:
信息科学部
结题年份:
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批准年份:
2024
项目状态:
未结题
项目参与者:
王雨薇
关键词:
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基于热氧化“Si/AlN叠层”的SiC MOS界面态抑制方法研究
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批准号:52107190
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项目类别:青年科学基金项目(C类)
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资助金额:30.0万元
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批准年份:2021
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负责人:王雨薇
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依托单位:
国内基金
海外基金