锆钛酸铅( PZT )压电薄膜是典型的微型传感-驱动器材料。为了与集成电路技术兼容，通常PZT薄膜被沉积在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上，使其在很多技术领域的应用受到限制。而将PZT薄膜制备在不锈钢(SS)，钛合金等金属衬底上，PZT的传感和驱动功能与工程系统的集成性将显著提高。申请者用钛酸铅(PT)做为过渡层，首次在SS衬底上制备了近4um厚的PZT 薄膜，其介电，铁电和压电性能达到甚至超过在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备的PZT薄膜。本项目研究旨在用溶胶-凝胶和水热合成以及两种工艺的结合在多种金属衬底上制备PZT压电薄膜、过渡层控制的制备技术、水热合成和微波烧结的一体化工艺。研究金属衬底与薄膜之间的界面应力/应变状态及独特的耦合机制对铁电薄膜相变行为的影响、系统的弹电相互作用。