微型传感-驱动器用锆钛酸铅压电薄膜/金属原型结构的制备科学和表征
批准号：
50302006
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
22.0 万元
负责人：
程晋荣
依托单位：
学科分类：
功能陶瓷
结题年份：
2006
批准年份：
2003
项目状态：
已结题
项目参与者：
孟中岩、张晓燕、金灯仁、彭东文、杜文娟、郑萍
项目摘要
结项摘要
项目成果
程晋荣的其他基金
相似基金
相关文献
中文摘要
锆钛酸铅( PZT )压电薄膜是典型的微型传感-驱动器材料。为了与集成电路技术兼容，通常PZT薄膜被沉积在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上，使其在很多技术领域的应用受到限制。而将PZT薄膜制备在不锈钢(SS)，钛合金等金属衬底上，PZT的传感和驱动功能与工程系统的集成性将显著提高。申请者用钛酸铅(PT)做为过渡层，首次在SS衬底上制备了近4um厚的PZT 薄膜，其介电，铁电和压电性能达到甚至超过在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备的PZT薄膜。本项目研究旨在用溶胶-凝胶和水热合成以及两种工艺的结合在多种金属衬底上制备PZT压电薄膜、过渡层控制的制备技术、水热合成和微波烧结的一体化工艺。研究金属衬底与薄膜之间的界面应力/应变状态及独特的耦合机制对铁电薄膜相变行为的影响、系统的弹电相互作用。
英文摘要
期刊论文列表
专著列表
科研奖励列表
会议论文列表
专利列表
登录
查看更多内容
Crystalline orientation depend
晶体取向取决于
晶体取向取决于
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Qing-Ming Wang,Yongping Ding,]
通讯作者：
Qing-Ming Wang,Yongping Ding,
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Ping Zheng,Wei Lu, Wenjuan Du,]
通讯作者：
Ping Zheng,Wei Lu, Wenjuan Du,
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
功能材料与器件学报，10,289 (2004)
影响因子：
--
作者：
[杜文娟, 陆维, 郑萍, 孟中岩]
通讯作者：
孟中岩
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Lingjuan Che, Yongping Ding, J]
通讯作者：
Lingjuan Che, Yongping Ding, J
The effect of LaNiO3 buffer la
LaNiO3缓冲液la的作用
LaNiO3缓冲液la的作用
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Lingjuan Che, Jinrong Cheng, S]
通讯作者：
Lingjuan Che, Jinrong Cheng, S
共 8 条
铋系钙钛矿压电陶瓷压电各向异性机理、调控及高频图像声呐换能器应用研究
-
批准号：--
-
项目类别：面上项目
-
资助金额：48万元
-
批准年份：2024
-
负责人：程晋荣
-
依托单位：
磁电耦合高温压电固溶体的形成和结构性能调控
-
批准号：51672169
-
项目类别：面上项目
-
资助金额：62.0万元
-
批准年份：2016
-
负责人：程晋荣
-
依托单位：
铁酸铋-钛酸铅MPB高温多铁性材料及换能器的研制
-
批准号：50872080
-
项目类别：面上项目
-
资助金额：35.0万元
-
批准年份：2008
-
负责人：程晋荣
-
依托单位：
高温低铅铋系压电、铁电－铁磁多功能材料的设计、制备科学与性能机理
-
批准号：50472098
-
项目类别：面上项目
-
资助金额：26.0万元
-
批准年份：2004
-
负责人：程晋荣
-
依托单位：
国内基金
海外基金