课题基金基金详情
水溶性软脆KDP晶体固-固化学机械抛光机理研究
批准号：
52375439
项目类别：
面上项目
资助金额：
55 万元
负责人：
李军
依托单位：
南京航空航天大学
学科分类：
E.工程与材料科学部
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
李军
关键词：
化学机械抛光机理研究软脆
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  • 批准号：
    50905086
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    19.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    李军
  • 依托单位：
    南京航空航天大学
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