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真空弧电极释气与阴极斑区等离子体的耦合机理研究
批准号:
--
项目类别:
面上项目
资助金额:
55 万元
负责人:
刘飞翔
学科分类:
A2901.等离子体基本过程与特性
结题年份:
--
批准年份:
2022
项目状态:
未结题
项目参与者:
刘飞翔
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金属氘化物电极真空弧离子源中性粒子密度演化机制研究
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