高活性铈基研磨颗粒表面缺陷构筑及其化学机械抛光机理研究
批准号：
52373314
项目类别：
面上项目
资助金额：
51 万元
负责人：
许宁
依托单位：
学科分类：
先进制造关键材料
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
许宁
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批准年份：2019
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负责人：许宁
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依托单位：
国内基金
海外基金