本课题主要是针对MOEMS三分量加速度地震检波装置新技术及相应问题进行研究。 经过三年的努力，圆满完成预定任务，主要成果有:.① 完成了双M-Z干涉仪中Y分支波导设计；将分支波导的纯弯曲损耗降至最低，并将两个不同半径的圆弧合并时产生的耦合损耗降至最低，略去分支波导端点处与直波导连接的过渡损耗，设计Y分支的关键问题是降低由于分支处的相位和场失配造成的功率损耗。三分量加速度地震检波器的响应特性和简谐振子的有限元法分析。.②完成了MOEMS三分量加速度地震检波装置的数字信号处理部分的设计，该数字信号处理系统以DSP为核心，配置相应的外围电路，实现信号的采集和处理。数字处理系统的硬件设计：主要有模拟电路的硬件设计和数字电路的硬件设计两部分组成. ③研究解决了MOEMS三分量加速度地震检波装置系统数据的输出存在的耦合问题，提出了解耦的方法。研究了三分量集成光波导加速度传感器中的三维振子之间的相互耦合问题并设计了解耦方法，并通过MATLAB仿真来验证所设计的解耦方法，并对实验结果进行了分析。