课题基金
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基金详情
高能离子束感生再结晶和消除剩余缺陷的研究
批准号:
19075004
项目类别:
面上项目
资助金额:
3.5 万元
负责人:
王忠烈
依托单位:
北京大学
学科分类:
粒子束与物质相互作用
结题年份:
1993
批准年份:
1990
项目状态:
已结题
项目参与者:
陈南翔、张伯旭、李映雪、时伯荣、刘向东、杨庆
关键词:
MEV级离子注入
半导体
离子束感生再结晶
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批准号:
19574003
项目类别:
面上项目
资助金额:
8.0万元
批准年份:
1995
负责人:
王忠烈
依托单位:
北京大学
国内基金
海外基金
共
0
条
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