基于金纳米颗粒/Polymer复合结构的MEMS嵌入式高灵敏度力敏检测元件基础研究

基于金属纳米颗粒及其Polymer复合纳米膜的研究引起国际上研究人员的关注，结合传统的MEMS结构，可以实现高灵敏力敏检测。但国内外对其自组装工艺还缺乏系统的研究，尤其是在系统研究其自组装工艺及和传统MEMS工艺兼容性方面，还未见有报道。在此应用背景下，该课题组成员结合近年来在MEMS传感器、微纳材料合成、表征、自组装及应用等各个领域内的研究成果，系统研究了不同工艺条件下纳米颗粒自组装理论模型；解决了纳米制造工艺中Top-down与Bottom-up的工艺兼容问题；突破金纳米颗粒及其Polymer功能化复合纳米薄膜嵌入式微纳结构的加工工艺难题；验证了基于金纳米颗粒/Polymer复合纳米膜器件嵌入式微纳机械结构的高灵敏度特性；通过调节自组装结构的维数、特征尺寸、功能化Polymer材料特性等参数，实现高灵敏度力敏检测功能；为MEMS传感器的设计提供了一种全新的、高灵敏度的信号检测方式。