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氮化硅和二氧化硅薄膜中氢原子波谱研究

批准号：
18670731
项目类别：
面上项目
资助金额：
1.0 万元
负责人：
王济身
依托单位：
华东师范大学
学科分类：
量子调控
结题年份：
1988
批准年份：
1986
项目状态：
已结题
项目参与者：
关键词：
氢原子波谱 氮化硅薄膜 二氧化硅薄膜 量子调控

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