外差干涉测量用可调波长半导体双频激光器

HeNe等气体双频激光器在外差干涉测量中被广泛用作干涉仪光源。让半导体激光器输出双频激光前景诱人但是很困难。主要是因为通常采用的侧向出光的端面发射激光器在与解理面平行和垂直两个方向上远场特性有很大不同，输出接近线偏振光。当欲输出双频时必将产生强模竞争，结果使得一个模熄灭，难于得到两正交偏振的双频激光输出。本申请提出在垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)的基础上实现可调波长半导体双频激光器。由于光腔取向的不同导致VCSEL具有圆形的远近场分布，减弱了模竞争，有可能得到双频输出。以VCSEL管芯（只一端镀高反射膜）加光栅和另一腔镜构成外腔波长可调半导体激光器。在腔内放置双折射元件可产生频率分裂。研究这种激光器的产生双频的原理、条件、结构及各参数对输出光的影响，实现双频输出。这种波长可调双频激光器一旦研制成功，可广泛用于无导轨和有导轨外差干涉测量系统中。