β-Ga2O3/GaN异质集成材料制备技术及特性机理研究
批准号:
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项目类别:
面上项目
资助金额:
57 万元
负责人:
张雅超
依托单位:
学科分类:
无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份:
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批准年份:
2021
项目状态:
未结题
项目参与者:
张雅超
关键词: