建立真空紫外软X射线多元件光学系统的研究平台
批准号：
60578040
项目类别：
面上项目
资助金额：
7.0 万元
负责人：
吕丽军
依托单位：
学科分类：
光谱信息学
结题年份：
2006
批准年份：
2005
项目状态：
已结题
项目参与者：
邰仁忠、颜锦奎、周文静、周铭、赵艳涛
项目摘要
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项目成果
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中文摘要
目前，VUV及软X射线在生物、材料、微电子及微加工等领域的应用研究对能量分辨以及空间分辨的要求越来越高。高能量分辨主要涉及的研究有精细谱结构、干涉光刻等，高空间分辨率主要用于几十个纳米空间分辨的极限显微应用研究。设计、研制高性能的XUV光谱仪、显微镜等光学成像装置是推动这些应用研究的关键因素。该课题将在对XUV多元件光学系统的像差理论、评价函数和设计优化方法进行拓展性的研究基础上，研究XUV单色仪
英文摘要
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Aberration Theory of Plane-sym
平面对称像差理论
平面对称像差理论
DOI：
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发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[吕丽军]
通讯作者：
吕丽军
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
《上海大学学报》，已接受（2007）
影响因子：
--
作者：
[王 娟, 吕丽军]
通讯作者：
吕丽军
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
《微计算机信息》，ISSN：1008-0570，刊登在2007年第6月
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
《机械设计与研究》，Vol. 23, No. 1, 61-64. (2007)
影响因子：
--
作者：
[赵艳涛, 吕丽军]
通讯作者：
吕丽军
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
送审 《光学学报》，（2007）
影响因子：
--
作者：
[王洁玮, 吕丽军]
通讯作者：
王洁玮, 吕丽军
超大视场大孔径光学系统的六阶波像差理论和成像规律研究
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批准号：61975111
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项目类别：面上项目
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资助金额：56.0万元
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批准年份：2019
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负责人：吕丽军
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依托单位：
超大视场、全景成像光学系统的像差理论和设计方法
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批准号：11274223
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项目类别：面上项目
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资助金额：80.0万元
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批准年份：2012
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负责人：吕丽军
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依托单位：
XUV光学系统的波像差理论及高分辨成像研究
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批准号：10775095
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项目类别：面上项目
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资助金额：25.0万元
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批准年份：2007
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负责人：吕丽军
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依托单位：
国内基金
海外基金