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Hf-Ta/Ta多层膜热稳定性和力学行为的尺寸效应及其耐蚀机理研究

批准号：
52301170
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
侯兆琪
依托单位：
西安科技大学
学科分类：
金属结构材料与力学行为
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
侯兆琪
关键词：
热稳定性和力学行为Hf-Ta/Ta耐蚀机理研究尺寸效应

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