课题基金 / 基金详情

均一性金属辅助深硅刻蚀的方向调控机制研究

批准号：
62304035
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
李力一
依托单位：
东南大学
学科分类：
应用光学
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
李力一
关键词：
均一性金属深硅刻蚀方向调控机制

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