离子注入辅助有序化磨削减薄AlN/TiN复合陶瓷静电吸附调控表面纹理创成机理
批准号：
52505507
项目类别：
青年科学基金项目（C类）
资助金额：
30.00 万元
负责人：
杨雪
依托单位：
学科分类：
工程与材料科学部
结题年份：
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批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
杨雪
关键词：
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