采用含氟可溶性聚酰亚胺，通过氯甲基化反应引入氯甲基，然后采用原子转移自由基聚合(ATRP)的方法在聚酰亚胺主链上引入合适长度的脂肪族长碳侧链，得到微相分离的梳型共聚物，当温度处于聚酰亚胺的玻璃化温度之下而又在脂肪族长链的分解温度之上时，脂肪族长碳链发生热解,所产生的气体产物逸出基体，控制热分解速度小于低分子产物在聚酰亚胺中的扩散速度,形成纳米闭孔泡沫薄膜.通过对氯甲基化率和ATRP反应的控制,即控制合适的氯甲基密度和侧链的分子量,得到孔径大小适中, 孔洞分布均匀的聚酰亚胺纳米泡沫薄膜。这样的聚酰亚胺纳米泡沫薄膜预期具有不大于2的低介电常数,可用于微电子器件中,减少信号之间的干扰和感应耦合，提高信号的传输速度，便于器件的小型化和密集化。