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单晶氮化镓的紫外光诱导羟基苯乙酮可控成膜及近无损伤高效研磨机理

批准号：
52305511
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
黄水泉
依托单位：
燕山大学
学科分类：
加工制造
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
黄水泉
关键词：
单晶氮化镓的紫外光高效研磨机理成膜近无损伤羟基苯乙酮

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