研究分子组装有机润滑薄膜对微机电系统的粘着、磨损、运行寿命的影响，探讨微系统用材料的表面离子束和化学氧化处理及组装薄膜分子间的化学交联对提高微系统抗磨损性能和使用寿合的影响。揭示影响微系统润滑防护的多种因素，提出微机电系统在多种条件下的润滑失效机理。研究结果将为解决相关分子尺度的润滑防护问题提供理论依据和技术保障。