本研究采用低氟含量的前驱溶液合成YBa2Cu3O7-x超导薄膜过程中的反应进行了系统研究。揭示了从凝胶膜、到热分解后的前驱膜、到最终的YBa2Cu3O7-x薄膜形成过程中的一系列的反应过程。进一步研究了温度，热处理时间，厚度等参数对薄膜超导性能的影响规律。通过组份调控，特别是F含量的调控，获得了高性能的YBa2Cu3O7-x超导膜，揭示了F含量参数的变化下，各种化学反应机制及其变化规律。提出了两类新型的合成YBa2Cu3O7-x薄膜的新技术，即先进低氟溶液法，和杂化溶液法。结合吉布斯自由能计算，和物相的测试结果，提出了新型的反应机理。本研究还对稀土掺杂，与异质相掺杂YBa2Cu3O7-x薄膜进行了深入研究。制备了GdBa2Cu3O7-x，BaZrO3掺杂的YBCO和YGBCO薄膜。掺杂结果表明，在F/Ba>2条件下，形成了与YBa2Cu3O7-x基底共格的BaZrO3相。而在F/Ba<2条件下，形成了与YBa2Cu3O7-x基底非共格的BaZrO3相，并通过物相反应过程的研究揭示了其形成机理。值得提出的是，这种非共格的BaZrO3掺杂相，在提升YBa2Cu3O7-x超导性能，钉扎效应方面具有明显的改性作用，为今后进一步提升YBa2Cu3O7-x涂层导体的超导性能奠定了理论和实验基础。