激光-锡等离子体极紫外光刻光源中的原子物理和辐射优化
批准号：
12374231
项目类别：
面上项目
资助金额：
53 万元
负责人：
李博文
依托单位：
学科分类：
冷原子分子物理及应用
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
李博文
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负责人：李博文
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依托单位：
国内基金
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