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激光-锡等离子体极紫外光刻光源中的原子物理和辐射优化
批准号：
12374231
项目类别：
面上项目
资助金额：
53 万元
负责人：
李博文
依托单位：
兰州大学
学科分类：
A2103.冷原子分子物理及应用
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
李博文
关键词：
极紫外光刻光源中的激光-锡等离子体原子物理和辐射
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与超极紫外光刻光源(6.x nm)相关的原子和辐射过程
  • 批准号：
    11404152
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    李博文
  • 依托单位：
    兰州大学
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