课题基金
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基金详情
扩散阻挡层薄膜新材料研究
批准号:
58670345
项目类别:
面上项目
资助金额:
4.0 万元
负责人:
罗维昂
依托单位:
复旦大学
学科分类:
无机非金属材料
结题年份:
1988
批准年份:
1986
项目状态:
已结题
项目参与者:
关键词:
扩散阻挡层
薄膜
新材料
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