基于高Q值环形微腔介观力－光耦合效应的芯片级高灵敏度传感器研究

微腔物理是别具特色、内容丰富、既具有重大理论意义、又可成为高新技术新的生长点的交叉前沿学科。一方面通过微腔物理研究，可探索和加深对微观世界量子性等基本问题的认识，同时又可能不断开拓出一些全新的研究领域。随着MEMS加工技术发展起来的平面环形微腔（Toroidal Microcavities），具有很高的品质因子（Q参数>10E8）；通过MEMS加工工艺多维度控制，可实现极低的腔模体积V，获得很高的Q/V比值，从而降低微腔的非线性光学工作域值，极大提高透射光谱的分辨率。本课题旨在利用"介观力－光耦合效应"，研究基于高Q值平面环形微腔的加工工艺和测试方法，深入开展非线性光学特性的研究，形成高Q平面环形微腔的结构设计和加工能力，深入开展一种全新光量子器件――高灵敏微腔传感器的研究，其精度可望达到10E-14米或更高，有可能成为未来扫描探针显微镜制备的全新理念和重要集成单元。