微器件是构造MEMS系统的关键要素之一，制造驱动设计过程是MEMS研发的显著特点之一，因此，微工艺规划研究起承前启后作用，并在微设计与制造集成方面具有重大的理论与实践意义。微工艺规划问题与传统的宏观工艺规划有本质上的不同，本项目以硅基微器件的工艺建模、规划与制造仿真为研究切入点，将在微工艺应用模式、微工艺设计方法、微加工过程仿真机理、微工艺应用映射机制等方面进行理论探讨，并将理论研究成果用于微工艺设计集成工具的开发。项目的创新点则体现在提出了涉及到新的微加工方法决策机制、基于几何推理的掩膜生成算法、微器件信息模型等方面的微加工工艺规划方法学、微器件加工过程的可视化及仿真模型、应用视图映射等。