课题基金 / 基金详情

硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究

批准号：
50375118
项目类别：
面上项目
资助金额：
26.0 万元
负责人：
江平宇
依托单位：
西安交通大学
学科分类：
制造系统与智能化
结题年份：
2006
批准年份：
2003
项目状态：
已结题
项目参与者：
周光辉、曹岩、张定红、张映锋、朱斌、张国海、刘峥、姜汉斌
关键词：
工艺规划建模微制造仿真硅基微器件。

项目摘要

结项摘要

项目成果

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中文摘要
微器件是构造MEMS系统的关键要素之一，制造驱动设计过程是MEMS研发的显著特点之一，因此，微工艺规划研究起承前启后作用，并在微设计与制造集成方面具有重大的理论与实践意义。微工艺规划问题与传统的宏观工艺规划有本质上的不同，本项目以硅基微器件的工艺建模、规划与制造仿真为研究切入点，将在微工艺应用模式、微工艺设计方法、微加工过程仿真机理、微工艺应用映射机制等方面进行理论探讨，并将理论研究成果用于微工艺设计集成工具的开发。项目的创新点则体现在提出了涉及到新的微加工方法决策机制、基于几何推理的掩膜生成算法、微器件信息模型等方面的微加工工艺规划方法学、微器件加工过程的可视化及仿真模型、应用视图映射等。
英文摘要
期刊论文列表
专著列表
科研奖励列表
会议论文列表
专利列表
基于虚拟原型的微器件动态特性分
DOI： --
发表时间： --
期刊： 《系统仿真学报》，第16卷，第2期，pp316-318, 332, 2004.
影响因子： --
作者： [龚晓燕, 江平宇]
通讯作者： 龚晓燕, 江平宇
微器件设计的优化决策规则获取方
DOI： --
发表时间： --
期刊： 《计算机辅助设计与图形学学报》，第17卷，第8期，pp1731-1735, 2005.
影响因子： --
作者： [龚晓燕, 江平宇]
通讯作者： 龚晓燕, 江平宇
基于多元技术的微型泵综合优化设
DOI： --
发表时间： --
期刊： 《计算机集成制造系统》，第11卷，第9期，pp1208-1211, 1222, 2005.
影响因子： --
作者： [龚晓燕, 江平宇]
通讯作者： 龚晓燕, 江平宇
基于Web的键合图法MEMS系统级多
DOI： --
发表时间： --
期刊： 《系统仿真学报》，第16卷，第2期，pp316-318, 332, 2005.
影响因子： --
作者： [刘旸, 江平宇]
通讯作者： 刘旸, 江平宇
共 11 条
    3D打印工厂社群建模及其客户化大批量群智生产机理与方法
    • 批准号：
      52375512
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      50万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      江平宇
    • 依托单位：
      西安交通大学
    新一代社群化生产系统群体自治与协同的运行机理及其方法
    • 批准号：
      51975464
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      61.0万元
    • 批准年份：
      2019
    • 负责人：
      江平宇
    • 依托单位：
      西安交通大学
    一种新的社群化制造模式及其网络配置机理研究
    • 批准号：
      71571142
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      49.3万元
    • 批准年份：
      2015
    • 负责人：
      江平宇
    • 依托单位：
      西安交通大学
    认知与服务计算驱动的新一代服务型制造执行系统运行理论研究
    • 批准号：
      51275396
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      82.0万元
    • 批准年份：
      2012
    • 负责人：
      江平宇
    • 依托单位：
      西安交通大学
    国内基金
    海外基金