课题基金 / 基金详情

硅应变外延初始阶段的LEED研究

批准号：
68976014
项目类别：
面上项目
资助金额：
3.0 万元
负责人：
刘惠周
依托单位：
中山大学
学科分类：
半导体材料
结题年份：
1992
批准年份：
1989
项目状态：
已结题
项目参与者：
陈土培、唐瑞民、王玲丽、彭义勇
关键词：
低能电子衍射应变外延再构表面

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  • 批准号：
    69246004
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    3.0万元
  • 批准年份：
    1992
  • 负责人：
    刘惠周
  • 依托单位：
    中山大学
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