面向并行电子束光刻装备的大电流碳基纳米冷阴极电子枪
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
51 万元
负责人：
张宇
依托单位：
学科分类：
超导与电工材料
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
张宇
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