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原位诊断等离子体对无机氧化物薄膜低温结晶的促进作用及机理研究

批准号：
--
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
徐雨
依托单位：
东华大学
学科分类：
等离子体基本过程与特性
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
徐雨
关键词：
无机氧化物薄膜等离子体低温结晶原位诊断

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