基于AlN/ScAlN复合薄膜的高灵敏、宽频心音传感器基础理论与关键技术研究
批准号:
62304208
项目类别:
青年科学基金项目
资助金额:
30 万元
负责人:
贾利成
依托单位:
学科分类:
敏感电子学与传感器
结题年份:
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批准年份:
2023
项目状态:
未结题
项目参与者:
贾利成
基于AlN/ScAlN复合薄膜的高灵敏度、耐压低噪MEMS水声传感器研究
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批准号:62571499
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项目类别:面上项目
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资助金额:50.00万元
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批准年份:2025
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负责人:贾利成
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依托单位:
国内基金
海外基金