课题基金 / 基金详情

基于AlN/ScAlN复合薄膜的高灵敏、宽频心音传感器基础理论与关键技术研究

批准号：
62304208
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
贾利成
依托单位：
中北大学
学科分类：
敏感电子学与传感器
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
贾利成
关键词：
基础理论与关键技术AlN/ScAlN高灵敏、宽频心音传感器复合薄膜

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