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毫米波硅基钡锌铁钪氧化物功能薄膜FBAR芯片滤波器机理与模型研究

批准号：
62301463
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
曹鑫
依托单位：
西南科技大学
学科分类：
半导体电子器件与集成
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
曹鑫
关键词：
机理与模型研究芯片滤波器硅基钡毫米波FBAR锌铁

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