为构建科学的气敏材料性能评价体系，促进气敏机理研究、高性能气敏材料开发以及气敏材料阵列的应用与推广，研制了一种金属氧化物（MOX）高通量多参数测试仪器。该仪器具有高通量、原位与多参数测试等特点：可同时测量多个MOX材料膜的气敏性能；可在可控环境（温度、激发光波长以及气氛类别与浓度可控）下测试MOX材料膜的气敏参数；可同时测量MOX材料膜的I-V信号、R-t信号、交流阻抗谱以及功函数。金属氧化物（MOX）高通量多参数测试仪主要的性能指标为：同时测量材料膜数量为36个；温度控制范围为室温-400°C；激发光波长可控范围为200nm-2µm；气体浓度控制极限为10ppb；材料膜电阻测量范围为1KΩ-100MΩ；电流测试极限为1nA；交流阻抗测试频率范围为5Hz-12MHz；功函数测试精度为5meV。. 基于金属氧化物（MOX）高通量多参数测试仪，经理论推导在该仪器上同步进行I-V测试、R-t测试、交流阻抗、功函数的测量，可获得MOX材料膜表面能带弯曲参数qVs、功函数Φ（EF）、电子亲和能χ、导带底位置EC等参数。基于金属氧化物（MOX）高通量多参数测试仪开展了一系列的基础性研究，包括：导电模型研究、连续光电流谱研究、响应动力学研究、气敏材料高通量筛选与选择性研究等。导电模型研究基于导电模型推导、I-V/R-t测试结合多参数拟合，可以得到导电模型中的关键电学微结构参数：晶界势垒高度，以及微观形貌参数：平均烧结颈宽度，平均烧结颈密度，并通过定义耗尽层变化量与平均烧结颈宽度的比值作为阀门控制系数，可有效反映气敏性能优劣。连续光电流谱研究中，通过连续步进变化激发光波长并获取材料膜电导信号，可得到光电流谱，ZnO光电流谱试验表明光电流谱可有效反映材料的能带宽度与表面能级位置等信息。响应动力学研究中，通过建立相空间响应动力学模型，可有效拟合气体响应曲线，并获得氧吸附率与气体反应速率常数等参数。气敏材料高通量筛选与选择性研究中，建立了基于材料聚类的高效阵列优化方法，并验证了基于类间距与识别率定义的材料选择性的有效性与实用性，结果表明基于识别率定义的材料选择性明显优于基于类间距定义的材料选择性。