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FinFET总剂量与热载流子效应引入缺陷的协和作用机制研究

批准号：
12275352
项目类别：
面上项目
资助金额：
56 万元
负责人：
崔江维
依托单位：
中国科学院新疆理化技术研究所
学科分类：
半导体基础物理
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
崔江维
关键词：
热载流子效应协和作用机制FinFET总剂量缺陷

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