片上集成TSV硅光器件的电磁、应力及光学效应的基础性研究
批准号：
--
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
何慧敏
依托单位：
学科分类：
光学和光电子材料
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
何慧敏
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