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碱性CMP工艺下新型三唑类化合物的聚集行为、浓度极值本质和缓蚀作用机制研究

批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
54 万元
负责人：
张大全
依托单位：
上海电力大学
学科分类：
高分子材料物理
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
张大全
关键词：
碱性CMP工艺浓度极值本质和缓蚀聚集行为三唑类化合物

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