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硅MOSFET砷化镓MESFET单片集成技术研究

批准号：
68976037
项目类别：
面上项目
资助金额：
4.0 万元
负责人：
郑心畲
依托单位：
清华大学
学科分类：
集成电路器件、制造与封装
结题年份：
1991
批准年份：
1989
项目状态：
已结题
项目参与者：
周均铭、王云生、林惠旺、陈培毅、李炳辉、张怡
关键词：
硅砷化镓单片集成硅砷化镓异质器件

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