极紫外(EUV)光刻胶材料设计与制备
批准号：
--
项目类别：
资助金额：
500 万元
负责人：
李嫕
依托单位：
中国科学院理化技术研究所
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2020
项目状态：
未结题
项目参与者：
李嫕
关键词：
设计与制备光刻胶材料EUV
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